VPX-20SH Vacuum Probe Station(VPX)

VPX-20SH 모델은 외부 전자 노이즈 효과를 줄이면서 완벽한 전자 차폐 기능을 제공합니다. 프로브 포지셔닝은 이중 마이크로 포지셔닝 시스템으로 구현됩니다. 먼저, 내부 포지셔너는 장치 전극 위치를 대략적으로 취한 다음 챔버 배기 후 외부 포지셔닝 노브로 정확한 포지셔닝을 수행합니다.
이 시스템에서 10K ~ 500K의 온도로 최대 2 인치 크기의 샘플을 측정 할 수 있습니다. 배기 및 저주파 소음 측면에서 누출 지점이 거의 없는 완벽하게 차폐 된 챔버 구조와 함께 매우 낮은 백그라운드 전자 소음 및 고진공 상태를 제공합니다.

VPX-20SH model offers perfect electronic shielding as much as lowering external electronic noise effects. The probe positioning are implemented by double micro-positioning system. Firstly, inner positioners take the device electrode positions roughly and then the accurate positioning is done by outer positioning knobs after chamber evacuation. Up to 2-inch sized sample can be measured in this system with the temperature from 10K to 500K. It provides very low back-ground electronic noise and high-vacuum state as well with perfectly shielded chamber structure having few leak points in terms of evacuation and low frequency noise.