프로브 테스트 솔루션
APX-10 Ambient probe Station(APX)
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모델 APX-10은 많은 대학, 회사 및 연구소에서 널리 사용되는 범용 주변 프로브 스테이션(Ambient Probe Station)입니다. 이 모델은 제품을 쉽게 옮길 수 있도록 컴팩트한 구조로
되어 있습니다. 최종 사용자가 측정하고자 하는 목적을 쉽게 달성할 수 있도록 마이크로 포지셔너, 프로브 팁, 온도 가변 척, 케이블 연결 유형 및 현미경 사양과 같은 구성 요소를 쉽게 변경하거나 수정할
수 있도록 설계되었습니다.
구조가 단순하여 사용자의 요구와 측정 환경에 따라 쉽게 설치할 수 있으며, 추후 유지보수 및 관리 하기에도 쉽게 제작되었습니다. 다양한 측정기기와 호환됩니다. 또한 마이크로 포지셔너를 사용하여 프로브를 배치하고 제어하는 미세하고 정교한 디바이스 샘플의 전기적 특성을 효과적으로 측정합니다.
최대 샘플 스테이지 크기는 300 mm입니다. 또한 옵션인 다크 쉴드 박스로 시스템을 덮으면 외부 노이즈 효과를 제거하여 보다 안정적이고 정확한 결과를 볼 수 있습니다.
구조가 단순하여 사용자의 요구와 측정 환경에 따라 쉽게 설치할 수 있으며, 추후 유지보수 및 관리 하기에도 쉽게 제작되었습니다. 다양한 측정기기와 호환됩니다. 또한 마이크로 포지셔너를 사용하여 프로브를 배치하고 제어하는 미세하고 정교한 디바이스 샘플의 전기적 특성을 효과적으로 측정합니다.
최대 샘플 스테이지 크기는 300 mm입니다. 또한 옵션인 다크 쉴드 박스로 시스템을 덮으면 외부 노이즈 효과를 제거하여 보다 안정적이고 정확한 결과를 볼 수 있습니다.
- Entry-level mounting system
- Tabletop placed probe station
- Rapid / Reliable warmup stage
- Easy expandable to functional system
주요 사양
| Specification | APX | |
|---|---|---|
| Sample Chuck | Size | 2 ~ 12" |
| Temperature | Range | RT~150℃ |
| Stability | ±0.5℃ | |
| Station Footprint | Footprint | 700 mm (W) 500 mm (D) 450 mm (H) |
| Sample | |
|---|---|
| Sample size | 2” to 12” |
* Nickel-plated (sample fixed with bottom-evacuation)
| Probing | |
|---|---|
| Maximum probes | 6pcs |
| Device movement | 300mm(X), 300mm(Y) |
| X,Y,Z movement | 25mm x 25mm x 25mm |
| Resolution | 1µm |
| Base option | Vacuum &magnet |
| Tip holder | Triaxial &tube type |
* Bottom plate of sample chuck is grounded for sample preparation.
* * Micro-positioner probing can be done as looking directly through the
microscope by user or as monitoring images from micro-video scope.
| Sample Chuck Evacuation | |
|---|---|
| Pumping speed | 7L/min |
| Ultimate pressure | 6.65 × 103 Pa |
| Ports | BNC, Triaxial |
| Station Footprint | |
|---|---|
| Station footprint | 700mm(27.5 in) width, |
| 500mm(19.6 in) depth, | |
| 450mm(17.7 in) height | |
| Station weight | 80kg |
| Hot-chuck & Controller | |
|---|---|
| Heater footprint | 300mm(118.1 in) width, |
| 400mm(157.4 in) depth, | |
| 200mm(78.7 in) height | |
| Temperature Range | Room Temp. ~ 200 ℃ |
| Resolution | 0.1℃ (±0.5) |
| ChuckCoating | Au Plated |
| Dark Shielding | |
|---|---|
| Shielding box footprint | 900mm(35.4 in) width, |
| 900mm(35.4 in) depth, | |
| 900mm(35.4 in) height | |
| Material | SCCP |
| Shielding box weight | 20kg |
| Microscope | |
|---|---|
| Turret | 4 lens changeover turret |
| Magnification | 15x to 2,000x |
| Focus adjustment | with coaxial coarse andfine focusing wheels |
| Camera mount | C-mount adapter |
| Utility | |
|---|---|
| 1-phase voltage | 100/120/220/240VAC (+5%, -10%), 50/60Hz |
| 1-phase power | 2kVA recommended |
| 3-phase voltage | Not required |
| 3-phase power | Not required |
| Cooling water | Not required |
* Dark shielding box is optional for protecting samples from environmental light or touching.
| Micro Video Scope | |
|---|---|
| 6.5x zoom lens | 0.75x to 5x, 0.5x adapter,working distance 105mm |
| Image sensor | IMX236 |
| Output signal | USB 2.0, composite, HDMI |
| Pixel size | 3.23.2µm x 3.2µm |
| Resolution | Dynamic: 1920 x 1080 Static: 3264 x 1840 |
* Video recording: 1080 30fps@SD card
사업자등록번호 : 220-86-72761대표이사 : 신동만대표전화 : 070-7872-0701팩스 : 02-2167-3801
(우)07299 서울특별시 영등포구 경인로 775 (문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층)
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