VPX-10DC Vacuum Probe Station(VPX)

VPX-10DC 모델은 이중 챔버 구조로, 제한된 공간에서 상부 및 하부 구조의 챔버를 사용하여 최대 공간 효율을 가질 수 있습니다. 멀티 챔버의 구성은 펌프, 가스 컨트롤러 (MFC) 및 진공 구성 요소와 같은 경제적 인 대체 장치이며 듀얼 또는 멀티 챔버입니다.
온도 가변 범위 또는 진공도와 같은 사양은 표준 진공 프로브 스테이션 VPX-10과 동일합니다. 멀티 챔버 시스템에 대한이 아이디어는 연구 범위를 확장 할 수 있습니다.

VPX-10DC model has the dual chamber structure, it is able to have maximum of space efficiency using a chamber of top and bottom structure in the limited space. The configuration of multi-chambers is alternative and dual- or multi-chamber economically share apparatus such as a pump, gas controller(MFC) and vacuum components. Specifications like temperature variable range or the degree of vacuum are identical to the standard vacuum probe station VPX-10. This idea of multi-chamber system can expand the research scope.