프로브 테스트 솔루션
미세 누설전류 측정, 고온 측정, 저온 측정 용 프로브스테이션, -55°C ~ 350°C
스테이션에 장착된 콤택트한 차폐 쉴드를 이용하여 fA 단위의 미소 전류의 측정이 가능하고, 내부를 질소 또는 건공기 환경으로 변경가능하므로
유기발광다이오드(OLED) 측정이 가능합니다.
유기발광다이오드(OLED) 측정이 가능합니다.
주요 특장점
- 미세전류, 하이파워, RF 측정 가능
- 콤팩트한 디자인
- 건공기 주입으로 낮은 이슬점 층의 측정
- 저온 측정을 위해 Thermal chuck 장착 가능
- 프로브 카드를 이용하여 WLR 측정 가능
표준 스펙
- 온도: 55 〜 350°C
- Sub-stage travel: X: 14 mm Y: 14 mm (micro motion)
- 웨이퍼 척: 지름:110 mm, 두께:5 mm
- 칩 사이즈: 4~12 인치
- 크기 및 무게: W500 x H500 x D365 mm, 50 Kg
다양한 측정
고성능 (APW original TXA 프로브,
HV TXA 프로브 및 고 전류 프로브)
고성능 (APW original TXA 프로브,
HV TXA 프로브 및 고 전류 프로브)
빠른 포지셔닝
사용자는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지를 움직일 수 있습니다. XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다
사용자는 스테이지 손잡이를 사용하여 자유자재로 XY 스테이지를 움직일 수 있습니다. XY 트래블(travel) 범위는 척(Chuck) 사이즈와 같습니다
Pulse IV 측정 시스템 지원
9 세트 매니퓰레이터(Manipulator). 애질런트 ASU/RSU 또는 키슬리 프리-앰프를 프로브 가까이에
마운트할 수 있습니다.
마운트할 수 있습니다.
고저온 및 초저누설(leakage) 프로브 카드
써모 척(Thermo chuck) -55～300℃
완벽한 얼라인먼트(Alignment). X,Y,Z 및 θ를 위해 마이크로미터를 갖춘 초정밀 스테이지(stage)를 사용 합니다
사업자등록번호 : 220-86-72761대표이사 : 신동만대표전화 : 070-7872-0701팩스 : 02-2167-3801
(우)07299 서울특별시 영등포구 경인로 775 (문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층)
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