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프로브 테스트 솔루션

α100 시리즈 알파 시리즈 프로브 스테이션

α100 시리즈

Just Right, Just Fit! Optimum for chip size up to 4 inch wafer
저전류, 고주파수 용 프로브스테이션
A100은 알파시리즈 프로브스테이션 중 가장 콤팩트 한 매뉴얼 프로브스테이션 입니다. IC, 다이오드, 트랜지스터, 웨이퍼 등의 전기적인 특성을 측정하고
분석하는 용도로 사용됩니다. 사용자는 합리적인 가격으로 유용성과 높은 퍼포먼스를 느끼실 수 있습니다.
주요 특장점
  • 쏠라 시뮬레이터 장착 가능
  • 작은 사이즈, 가벼운 무게
  • 편리한 이동성
  • 안정적이고 정확한 측정을 위해 차폐박스 설치 가능
  • 간단한 구조, 저렴한 가격
표준 스펙
  • Stage travel X : 100mm Y:100 mm (coarse motion)
  • Sub-stage travel X : 14mm Y:14 mm (micro motion)
  • 웨이퍼 척(Wafer chuck) : Diameter 110mm / thickness: 5 mm
  • 웨이퍼 홀더 (Wafer hold) : 진공(Vacuuming)
  • 칩 사이즈 : Max. 4 inch wafer
  • θ−stage travel : 360 degree. / Fine: ±5 deg.
  • 크기 및 무게 : W400 x H330 x D360mm, 25Kg
다양한 스테이지(Stage)
Variety Type of Stage
Hot Chuck / Thermo Chuck / Normal Chuck
Chuck for film / Resinous Chuck, Others
다양한 현미경 선택 가능
Selectable from variety Microscope

  • 가족친화우수기업
  • 청년친화 강소시업
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