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Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS 반도체 특성 분석기


  • 개요
  • 특징 및 장점
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혁신이 실현되는 모습을 확인하십시오.

4200A-SCS는 전류-전압(I-V), 커패시턴스-전압(C-V) 및 초고속 펄스I-V 특성화에 대한 동기화된 통찰력을 제공하는 맞춤형 완전 통합형 파라미터 분석기입니다.

최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 반도체, 재료 및 공정 개발을 가속화합니다. 4200A-SCS ClariusTM GUI 기반 소프트웨어는 명확하고 타협 없는 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 내장된 측정 전문 지식을 바로 사용할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트를 갖춘 Clarius 소프트웨어를 사용하면 속도와 자신감을 가지고 연구를 심층적으로 수행할 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기는 완벽하게 사용자 정의가 가능하고 완벽하게 업그레이드할 수 있으므로 지금 또는 나중에 필요한 필요한 기기를 추가할 수 있습니다.

4200A-SCS 파라미터 분석기를 사용하면 대담한 발견을 그 어느 때보다 쉽게 할 수 있을 것입니다.


빠르고 선명한 파라메트릭 분석 정보 제공
확실한 분석을 수행하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 특성화 복잡성 및 테스트 설정을 최대 50%까지 줄여 명확하고 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 또한 업계 최초의 임베디드 측정 기술을 통해 테스트 지침을 제공하고 결과에 대한 최고의 확신을 부여합니다.

주요 특징

  • 영어, 중국어, 일본어, 한국어로 제작된 측정 비디오 포함
  • 사용자가 수정할 수 있는 수백 개의 애플리케이션 테스트로 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 그래프 작성, 산술 함수
측정. 전환. 반복

4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요 특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기
특성화. 사용자 정의. 최대화
간단히 말해 4200A-SCS는 완전히 사용자 정의가 가능하며 업그레이드가 가능하므로 반도체 장치, 신소재, 액티브/패시브 구성 요소, 웨이퍼 레벨 안정성, 고장 분석, 전기 화학 또는 사실상 모든 유형의 샘플에 대한 전기 특성 평가 및 평가를 수행할 수 있습니다.

주요 특징

  • NBTI/PBTI 테스트
  • 무작위 전신 노이즈
  • 비휘발성 메모리 장치
  • 전위 가변기 애플리케이션 테스트
분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된 솔루션

4200A-SCS 파라미터 분석기는 Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동/반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요 특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀스
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능
비용 절감 및 투자 보호
Keithley 케어 플랜은 요청 시 서비스 이벤트 비용의 일부만으로 신속한 고품질 서비스를 제공합니다. 클릭 한 번이나 전화 한 통화로 수리 보증을 확보하여 견적서나 구매 주문서가 필요하지 않고 승인이 지연되지도 않습니다.

바이오센서 특성화

바이오센서 또는 bioFET는 분석물에 대한 생물학적 응답을 전기 신호로 변환합니다. 4200A-SCS에 통합된 Clarius 소프트웨어에는 bioFET 테스트를 위한 프로젝트가 포함되어 있습니다. 이를 시작점으로 사용하여 바이오센서의 전송 및 출력 특성을 특성화하고 거기에서 작업 영역을 확장합니다.

높은 임피던스 응용 사례에 대한 C-V 측정

Keithley의 사용자 정의 초저주파수 C-V 기법을 사용하여 높은 저항 샘플의 커패시턴스를 분석합니다. 이 기법은 SMU(Source Measure Unit) 장비만 사용하여 수행되지만 더 높은 주파수 측정을 위해 4210-CVU와 함께 사용할 수도 있습니다.

주요 특징

  • 1pF - 10nF 민감도의 .01 - 10Hz 주파수 범위
  • 3½ digits 일반 분해능, 최소 일반 10fF
반도체 및 NVM 안정성

완벽한 펄스형 I-V 특성화로 테스트에 새로운 기술을 투입합니다. 4200A-SCS에는 플로팅 게이트 플래시부터 ReRAM 및 FeRAM에 이르는 NVRAM 기술에 대한 지원 및 실행 준비가 완료된 테스트가 포함되어 있습니다. 전류 및 전압에 대한 듀얼 소싱 및 측정 기능을 통해 과도 및 I-V 도메인 특성화가 가능합니다.

펨토패럿 커패시턴스 측정

4215-CVU 모듈로 펨토패럿(femtofarad) 이하의 커패시턴스를 측정하십시오. 1V AC를 구동하면 4215-CVU에서 1fF 커패시터를 측정할 때 6 아토패럿(attofarad)만큼이나 낮은 노이즈 레벨을 달성할 수 있습니다. 이는 커패시턴스를 측정하고 중요한 파라미터를 측정하기 위한 Clarius 소프트웨어에 포함된 수십 개의 애플리케이션 중 하나에 불과합니다.

주요 특징

  • 내장 펨토패럿 측정 기능
  • 1kHz에서 10MHz에 이르는 10,000개의 주파수 단계
  • 사용자 라이브러리로 장치에 대한 테스트 사용자 정의
긴 케이블 또는 커패시턴스 픽스쳐를 사용하는 경우의 테스트

매우 긴 케이블이나 고캐패시턴스 픽스쳐가 필요한 테스트에는 4201 또는 4211-SMU를 사용하십시오. 이러 SMU는 LCD 테스트 스테이션, 프로버, 스위치 매트릭스 또는 기타 크고 복잡한 테스터에 연결하는 데 이상적입니다. 현장 설치 가능 버전을 사용하면 장치를 서비스 센터로 반송하지 않고도 용량을 추가할 수 있습니다.

물질 저항률

통합 SMU와 함께 4200A-SCS를 사용하여 4포인트 공선형 프로브 또는 면저항 측정법으로 저항률을 쉽게 측정할 수 있습니다. 포함된 테스트는 반복적인 면저항 측정 계산을 자동으로 수행하여 귀중한 연구 시간을 절감하도록 합니다. 최대 전류 분해능 10aA 및 10­­­­16Ohm 초과 입력 임피던스를 사용하여 보다 정확하고 정밀한 결과를 얻을 수 있습니다.

MOSFET 특성화

4200A-SCS는 컴포넌트 또는 웨이퍼상 테스트를 통해 MOS 장치의 전체 특성화에 필요한 모든 장비를 보유할 수 있습니다. 포함된 테스트 및 프로젝트는 MOSCap의 산화물 두께, 임계 전압, 도핑 농도, 이동 이온 농도 등을 해석합니다. 이러한 모든 테스트는 단일 장비 박스의 버튼을 터치하여 실행할 수 있습니다.


모듈 설명
4200-PA 원격 프리앰프 모듈
4200-BTI-A 초고속 BTI PKG
4200-SMU 중간 전력 SMU(소스 측정 장치)
4200A-CVIV 멀티 스위치
4201-SMU MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4210-SMU 고전력 소스 측정 장치
4211-SMU HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT
4215-CVU 커패시턴스-전압 장치
4220-PGU 고전압 펄스 발생기 장치
4225-PMU 초고속 펄스 측정 장치
4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
  • 가족친화우수기업
  • 청년친화 강소시업
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