프로브 테스트 솔루션
PEM300
WLR 프로브스테이션
WLR 테스트 특화 장비
TDDB/ EM/ NBTI 등 웨이퍼 레벨로 측정.
웨이퍼 상태로 350도 고온에서 까지 측정!
TDDB/ EM/ NBTI 등 웨이퍼 레벨로 측정.
웨이퍼 상태로 350도 고온에서 까지 측정!
- probe card lump를 사용하여 웨이퍼의 양방향을 모두 프루빙 할 수 있는 WRL test (TDDB, EM) 특화 장비 (WLR card)
- 챔버 내에 질소 제거 기능
- 어떠한 데미지로부터 Probe card를 보호하기 위한 보호기능 장착
- 질소화의 위험성을 줄이기 위한 조절기능 장착
- CCD카메라의 부드러운 이동성을 위한 레일 기능
- 350도의 고온 측정
컴팩트한 챔버 (N2 소모 방지)
CCD 카메라 마운트 CCD 트래블 범위: X Y 300mm
챔버에서 쉽게 웨이퍼 로드/언로드 척 스테이지. 모든 작동을 안전하게 얼라이언먼트 가능
WLR 테스트 용 프로브 카드
광범위한 온도 측정을 위한베스트 솔루션
이 프로브 카드는 신뢰성 및 수율(Yield)의 평가 방법에 사용, TDDB에 MOS 소자의 산화막 평가, EM의 와이어링(wiring) 평가를 위한 것입니다. 베이스 상에 세라믹 PCB를 사용하여 내구성 뿐만 아니라 과 온도 변화에도 염려없습니다. 바늘은 마이크로 스트립의 세라믹 블레이드로 만들어져, 고온에서도 높은 정밀도를 유지하면서 안정적으로 측정 할 수 있습니다.
* 키사이트(애질런트) 및 키슬리의 모든 제품과 함께 사용할 수 있습니다.
* 키사이트(애질런트) 및 키슬리의 모든 제품과 함께 사용할 수 있습니다.
사업자등록번호 : 220-86-72761대표이사 : 신동만대표전화 : 070-7872-0701팩스 : 02-2167-3801
(우)07299 서울특별시 영등포구 경인로 775 (문래동 3가, 에이스하이테크시티 3동 2층)
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