프로브 테스트 솔루션
진공 프로브 스테이션
Vacuum probe station
Organic 디바이스 / MEMS 디바이스 재료 연구개발용
- 10-3 pa에 상응하는 진공도
- 스테이지의 X, Y 축을 50 mm 단위로 이동 가능
- 모든 종류의 커넥터(Connector) 가능
- 미세 전류 측정 가능
- 다핀 대응 프로브 카드형
4 매니퓰레이터(manipulator) 타입
- 진공 정도는 10 – 3 Pa 지원
- 신호 분리 방법은 개별 사양에 대응
- 미세 전류 측정 가능
- 스테이지 X Y 50 ㎜ 가동
- 스테이지 크기는 100 ㎜ 까지 가능
프로브 카드 타입
- 프로브 카드 타입으로 여러 개의 핀(pin) 가능
- 진공 정도는 10 - 1Pa에 부응
- 비측정 물은 프로브 카드의 교체에 따라 부응
- X,Y,Z 및 θ 스테이지에 따라 정렬
Tel : +82-70-7872-0701Fax : +82-2-2167-3801
2F, ACE hightech city, 775, Gyeongin-ro, Yeongdeungpo-gu, Seoul, Korea
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